1930年代以前は、基本的にドイツとフランスだけが酸素発生器を製造できました。当時、酸素発生器（可変圧吸着酸素発生器）は、化学工業に必要な酸素・窒素製造装置の溶接・切断のニーズにしか対応できませんでした。酸素発生器の生産は主に中小規模で、生産能力は2m3 / hから600m3 / hで、約200種類ありました。The酸素発生器使用されるプロセスは、高圧および中圧プロセスです。
1930年から1950年にかけて、ドイツとフランスに加えて、ソビエト連邦、日本、米国、英国などの他の国々も酸素発生器の生産を開始しました。この間、生産の発展に伴い、酸素発生器（可変圧吸着酸素発生器）の応用分野が拡大し、大型酸素発生器の開発が促進されました。大型酸素発生器で1m3の酸素を生成するために必要な電気と金属材料は、中小規模の酸素発生器よりも高いため、大型酸素発生器の種類は、1930年から1950年にかけて5000 m3 / hなど増加しました。西ドイツ、ソ連では3600 m3 / h、日本では3000 m3 / h。当時使用されていたプロセスは、高圧および中圧に加えて、高圧および低圧プロセスを使用し始めました。1932年、ドイツは冶金およびアンモニア産業で初めて酸素発生器を使用しました。
1950年以降、上記の国々で生産された酸素発生器（可変圧力吸着酸素発生器）に加えて、中国、チェコ共和国、東ドイツ、ハンガリー、イタリアなどがあります（中国は後期開発者であり、すべてが深冷されています）。
鉄鋼業、窒素肥料産業、ロケット技術の発展により、酸素と窒素の消費量が急増し、酸素発生器の大規模開発が進んでいます。1957年以来、10,000m3 / hの酸素発生器が次々と導入されてきました。1967年以降、不完全な統計によれば、20,000 m3 / hを超える87の大型酸素発生器があり、より大きなユニットは50,000 m3 / hであり、より大きなユニットは開発中です。
過去20年間で、製品範囲は急速に増加し、徐々にシリーズを形成してきました。たとえば、西ドイツのリンデの大型酸素発生器には、1000〜40000m3 / hの典型的な製品があります。日本のコベルコにはOFシリーズがあります。日本日立はすべてのTOモデルを製造しています。日本の酸素にはNRタイプがあります。英国には50〜1500トン/日のシリーズ製品があります。同時に、大型の酸素発生器は基本的に完全な低圧プロセスを使用します。
要するに、酸素発生器（可変圧吸着酸素発生器）の開発は不完全なプロセスであり、装置は中小規模から大規模へと発展してきました。このプロセスは、高圧（200気圧）、中圧（50気圧）、高圧および低圧から全低圧（6気圧）に発展し、酸素発生器の単位電力消費量と金属材料消費量を削減し、操作を拡張します。サイクル。